薄膜生长过程直接影响到薄膜的结构及性能简单地说，薄膜生长是沉积原子在基体表面吸附、扩散、凝结、形核与长大的过程（1）吸附：固体表面的原子或分子间化学键在表面中断，称为不饱和键或悬挂键这种键具有吸引外来原子或分子的能力。

入射到基体表面的气相原子被这种悬挂键吸住的现象称为吸附如果吸附仅仅是由原子电偶极矩之间的范德瓦尔斯力起作用，则称为物理吸附;若吸附是由化学键结合力起作用，则称为化学吸附与固体内部相比，固体表面具有一种过量的能量，称为表面自由能。

固体表面吸附气相原子后自由能减小，从而变得更稳定伴随吸附现象发生而释放的一定能量称为吸附能将吸附在固体表面上的气相原子除掉称为解吸，除掉被吸附气相原子所需的能量称为解吸能入射到基体表面的气相原子都带有一定的能量，它们到达基体表面之后可能发生三种现象∶①与基体表面原子进行能量交换被吸附;②吸附后气相原子仍有较大的解吸能，在基体表面做短暂停留（或扩散）后，再解吸蒸发（再蒸发或二次蒸发）;③与基体表面不进行能量交换，人射到基体表面上立即被反射回去。

当用真空蒸镀或溅射镀制备薄膜时，人射到基体表面的气相原子，绝大多数都与基体表面原子进行能量交换而被吸附一个气相原子入射到基体表面，能否被吸附?是物理吸附还是化学吸附?除与入射原子的种类、所带的能量有关外，还与基板材料、表面的结构和状态密切相关。

（2）扩散：入射到基体表面的气相原子被吸附后，它便失去了在表面法线方向的动能，只具有平行于表面方向的动能依靠这种动能，被吸附原子在表面上沿不同方向扩散在扩散过程中，单个被吸附原子相互碰撞形成原子对后产生凝结。

吸附原子的表面扩散运动是形成凝结的必要条件（3）凝结：指吸附原子在基体表面上形成原子对及其以后的过程，具体地说，是气相原子形核与长大的过程（4）形核与生长：形核与生长的物理过程可用图1-1说明，可分为四个步骤∶。

①气相原子入射到基体表面，其中一部分原子因能量较大而弹性反射回去，另一部分则吸附在基体表面吸附原子中有一小部分因能量稍大而再次返回气相②吸附气相原子在基体表面上扩散迁移，互相碰撞结合成原子对或小原子团，并凝结在基体表面上。

③原子团时而团聚长大，时而分解变小一旦原子团体积超过临界值，会向着长大方向发展形成稳定的原子团临界体积的原子团称为临界核，稳定的原子团称为稳定核④稳定核再捕获其他吸附原子，或者与入射气相原子相结合使它进一步长大成为小岛。

形核过程若在均匀相中进行称为均匀形核;若在非均匀相或不同相中进行称为非均匀形核在固体或杂质的界面上形核时都是非均匀形核薄膜在基体表面形核与水滴在固体表面的凝结过程相类似，都属于非均匀形核（摘自《气相沉积薄膜强韧化技术》侵权必删）。